微位移高精度实时干涉测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200720067118.1

申请日：

2007-02-07

公开(公告)号：

CN201016705Y

公开(公告)日：

2008-02-06

发明(设计)人：

何国田王向朝

申请人：

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01B9027

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-02-06	授权	授权
2009-09-16	专利权的主动放弃	专利权的主动放弃

共 50 条

[1]

微位移高精度实时干涉测量仪 [P].

何国田 ;

王向朝 .

中国专利 :CN101033939A ,2007-09-12

[2]

微位移实时干涉测量仪 [P].

王向朝 ;

李代林 ;

刘英明 .

中国专利 :CN1431478A ,2003-07-23

[3]

微位移实时干涉测量仪 [P].

王向朝 ;

李代林 ;

刘英明 .

中国专利 :CN2599525Y ,2004-01-14

[4]

高精度激光位移测量仪 [P].

翟玉生 ;

蒋留杰 ;

刘佳明 ;

冯飞翔 ;

王启真 ;

李志远 ;

谢泽铧 ;

王新杰 .

中国专利 :CN206803947U ,2017-12-26

[5]

静态位移实时干涉测量装置 [P].

王学锋 ;

王向朝 ;

刘英明 ;

钱锋 .

中国专利 :CN2577237Y ,2003-10-01

[6]

物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置 [P].

何国田 ;

王向朝 .

中国专利 :CN201003946Y ,2008-01-09

[7]

实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置 [P].

何国田 ;

王向朝 .

中国专利 :CN201003947Y ,2008-01-09

[8]

高精度实时位移速度测量仪 [P].

刘伟 ;

张贺 ;

房田 ;

李殿文 ;

邓平 ;

贾永刚 ;

邵长春 .

中国专利 :CN106546764A ,2017-03-29

[9]

高精度实时位移速度测量仪 [P].

刘伟 ;

张贺 ;

房田 ;

李殿文 ;

邓平 ;

贾永刚 ;

邵长春 .

中国专利 :CN206788198U ,2017-12-22

[10]

一种F-P腔正交检测的高精度微位移测量装置及方法 [P].

王菊 ;

高也 ;

于晋龙 ;

罗浩 ;

苏学敏 .

中国专利 :CN119197332B ,2025-04-18

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