实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200720067117.7

申请日：

2007-02-07

公开(公告)号：

CN201003947Y

公开(公告)日：

2008-01-09

发明(设计)人：

何国田王向朝

申请人：

申请人地址：

201800上海市800-211邮政信箱

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-04-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101063897188 IPC(主分类):G01B 9/02 专利号:ZL2007200671177 申请日:20070207 授权公告日:20080109 终止日期:20100207
2008-01-09	授权	授权

共 50 条

[1]

实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪 [P].

何国田 ;

王向朝 .

中国专利 :CN100547344C ,2007-09-12

[2]

双正弦相位调制实时干涉测距仪 [P].

李代林 ;

王向朝 .

中国专利 :CN1563890A ,2005-01-12

[3]

用于正弦相位调制干涉测量的调制度和初相位测量方法 [P].

段发阶 ;

黄婷婷 ;

蒋佳佳 ;

傅骁 ;

马凌 .

中国专利 :CN107014289B ,2017-08-04

[4]

双光源正弦相位调制位移测量干涉仪 [P].

王渤帆 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN101738160A ,2010-06-16

[5]

微位移高精度实时干涉测量装置 [P].

何国田 ;

王向朝 .

中国专利 :CN201016705Y ,2008-02-06

[6]

半导体激光正弦相位调制干涉仪调制深度的测量方法 [P].

王渤帆 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN102288387B ,2011-12-21

[7]

差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

严利平 ;

陈本永 ;

楼盈天 ;

谢建东 .

中国专利 :CN110411335A ,2019-11-05

[8]

微探头偏振光相位调制的干涉位移测量系统及方法 [P].

董祎嗣 ;

张晨 ;

李雯雯 ;

骆文瑞 ;

吴亦凡 ;

胡鹏程 .

中国专利 :CN116878394B ,2024-04-19

[9]

物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置 [P].

何国田 ;

王向朝 .

中国专利 :CN201003946Y ,2008-01-09

[10]

基于正弦相位调制四步积分的条纹投射三维形貌测量系统 [P].

段发阶 ;

伯恩 ;

吕昌荣 ;

冯帆 ;

傅骁 ;

梁春疆 .

中国专利 :CN103983211A ,2014-08-13

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