差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910681897.1

申请日：

2019-07-26

公开(公告)号：

CN110411335A

公开(公告)日：

2019-11-05

发明(设计)人：

严利平陈本永楼盈天谢建东

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市江干经济开发区2号大街928号

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

G01B1102

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司 33200

代理人：

林超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-16	授权	授权
2019-11-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 9/02 申请日:20190726
2019-11-05	公开	公开

共 50 条

[1]

基于相位调制的双激光单频干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

严利平 ;

陈本永 .

中国专利 :CN106017333B ,2016-10-12

[2]

差动式激光干涉纳米位移测量方法及装置 [P].

严利平 ;

陈本永 ;

田秋红 ;

孙政荣 ;

周砚江 .

中国专利 :CN103075969B ,2013-05-01

[3]

非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

许素安 ;

洪亮 ;

章志勇 ;

曾涛 ;

富雅琼 ;

张宝武 .

中国专利 :CN120252497B ,2025-08-22

[4]

非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

许素安 ;

洪亮 ;

章志勇 ;

曾涛 ;

富雅琼 ;

张宝武 .

中国专利 :CN120252497A ,2025-07-04

[5]

双光源正弦相位调制位移测量干涉仪 [P].

王渤帆 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN101738160A ,2010-06-16

[6]

电光调制激光干涉线位移及角位移测量装置和方法 [P].

黄腾超 ;

王先帆 ;

车双良 ;

舒晓武 .

中国专利 :CN112629571B ,2021-04-09

[7]

半导体激光正弦相位调制干涉仪调制深度的测量方法 [P].

王渤帆 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN102288387B ,2011-12-21

[8]

双相位测量式激光干涉直线度及位移同时测量装置和方法 [P].

陈本永 ;

楼盈天 ;

严利平 .

中国专利 :CN111735391A ,2020-10-02

[9]

正弦相位调制型激光自混合干涉仪及其测量方法 [P].

王鸣 ;

夏巍 ;

刘强 ;

李春成 ;

郝辉 ;

郭冬梅 .

中国专利 :CN103528511A ,2014-01-22

[10]

微探头偏振光相位调制的干涉位移测量系统及方法 [P].

董祎嗣 ;

张晨 ;

李雯雯 ;

骆文瑞 ;

吴亦凡 ;

胡鹏程 .

中国专利 :CN116878394B ,2024-04-19

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