非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510761264.7

申请日：

2025-06-09

公开(公告)号：

CN120252497A

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

许素安洪亮章志勇曾涛富雅琼张宝武

申请人：

中国计量大学

申请人地址：

310018 浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号

IPC主分类号：

G01B9/02001

IPC分类号：

G01B9/02055 G01B11/02

代理机构：

杭州奥创知识产权代理有限公司 33272

代理人：

王佳健

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省金华市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 9/02001申请日:20250609
2025-08-22	授权	授权
2025-07-04	公开	公开

共 50 条

[1]

非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

许素安 ;

洪亮 ;

章志勇 ;

曾涛 ;

富雅琼 ;

张宝武 .

中国专利 :CN120252497B ,2025-08-22

[2]

差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

严利平 ;

陈本永 ;

楼盈天 ;

谢建东 .

中国专利 :CN110411335A ,2019-11-05

[3]

激光干涉非线性误差自补偿方法及装置 [P].

朱振宇 ;

梁志国 ;

李华丰 .

中国专利 :CN104677295B ,2015-06-03

[4]

差动式激光干涉纳米位移测量方法及装置 [P].

严利平 ;

陈本永 ;

田秋红 ;

孙政荣 ;

周砚江 .

中国专利 :CN103075969B ,2013-05-01

[5]

基于相位调制的双激光单频干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

严利平 ;

陈本永 .

中国专利 :CN106017333B ,2016-10-12

[6]

低非线性误差的位移测量干涉仪 [P].

威廉·克莱·施卢赫特尔 ;

罗伯特·托德·贝特 .

中国专利 :CN1854678A ,2006-11-01

[7]

角度补偿式激光外差干涉位移测量装置及方法 [P].

张恩政 ;

陈本永 .

中国专利 :CN107255451A ,2017-10-17

[8]

电光调制激光干涉线位移及角位移测量装置和方法 [P].

黄腾超 ;

王先帆 ;

车双良 ;

舒晓武 .

中国专利 :CN112629571B ,2021-04-09

[9]

一种激光干涉位移测量装置 [P].

高洋 ;

刘锋 .

中国专利 :CN211317207U ,2020-08-21

[10]

基于激光偏振干涉的纳米位移实时测量系统及方法 [P].

邱学军 ;

王涵 ;

郭旖 ;

田欣野 ;

曹振洲 .

中国专利 :CN115493503A ,2022-12-20

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