基于激光偏振干涉的纳米位移实时测量系统及方法

被引：0

申请号：

CN202211305256.4

申请日：

2022-10-24

公开(公告)号：

CN115493503A

公开(公告)日：

2022-12-20

发明(设计)人：

邱学军王涵郭旖田欣野曹振洲

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区民族大道182号

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

代理机构：

武汉宇晨专利事务所(普通合伙) 42001

代理人：

李鹏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-20	公开	公开
2023-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20221024

共 50 条

[1]

基于激光偏振干涉的纳米位移实时测量系统及方法 [P].

邱学军 ;

王涵 ;

郭旖 ;

田欣野 ;

曹振洲 .

中国专利 :CN115493503B ,2025-03-04

[2]

一种激光干涉位移测量系统 [P].

刘晓军 ;

李千 ;

赵昊 .

中国专利 :CN105004273A ,2015-10-28

[3]

干涉仪位移测量系统及方法 [P].

孙国华 ;

高晓良 ;

徐蕾 .

中国专利 :CN112484647B ,2021-03-12

[4]

一种双波长超外差干涉实时位移测量系统 [P].

潘德馨 ;

卢乾波 ;

白剑 ;

汪凯巍 .

中国专利 :CN207019624U ,2018-02-16

[5]

双波长超外差干涉大量程高精度实时位移测量系统与方法 [P].

卢乾波 ;

白剑 ;

汪凯巍 ;

潘德馨 .

中国专利 :CN107192336A ,2017-09-22

[6]

外差光纤干涉仪位移测量系统及方法 [P].

孙国华 ;

程朝奎 ;

郭升莉 .

中国专利 :CN112484648B ,2021-03-12

[7]

一种基于ZYNQ的相位调制激光干涉位移测量系统及方法 [P].

李理 ;

李昊 ;

王作斌 ;

宋正勋 ;

王璐 ;

于淼 ;

许红梅 .

中国专利 :CN119509342A ,2025-02-25

[8]

差动式激光干涉纳米位移测量方法及装置 [P].

严利平 ;

陈本永 ;

田秋红 ;

孙政荣 ;

周砚江 .

中国专利 :CN103075969B ,2013-05-01

[9]

基于相位调制的双激光单频干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

严利平 ;

陈本永 .

中国专利 :CN106017333B ,2016-10-12

[10]

基于偏振交变调制的纳米位移传感器 [P].

程方 ;

苏杭 ;

崔长彩 ;

陈凡 ;

杨涛 ;

余卿 ;

王寅 ;

林硕 ;

颜华生 ;

郭单余 .

中国专利 :CN120868924A ,2025-10-31

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