基于相位调制的双激光单频干涉纳米位移测量装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610589039.0

申请日：

2016-07-22

公开(公告)号：

CN106017333B

公开(公告)日：

2016-10-12

发明(设计)人：

严利平陈本永

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市江干经济开发区白杨街道2号大街928号

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司 33200

代理人：

林超

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-12	公开	公开
2016-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101686886793 IPC(主分类):G01B 11/02 专利申请号:2016105890390 申请日:20160722
2019-02-15	授权	授权

共 50 条

[1]

差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

严利平 ;

陈本永 ;

楼盈天 ;

谢建东 .

中国专利 :CN110411335A ,2019-11-05

[2]

差动式激光干涉纳米位移测量方法及装置 [P].

严利平 ;

陈本永 ;

田秋红 ;

孙政荣 ;

周砚江 .

中国专利 :CN103075969B ,2013-05-01

[3]

非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

许素安 ;

洪亮 ;

章志勇 ;

曾涛 ;

富雅琼 ;

张宝武 .

中国专利 :CN120252497B ,2025-08-22

[4]

非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

许素安 ;

洪亮 ;

章志勇 ;

曾涛 ;

富雅琼 ;

张宝武 .

中国专利 :CN120252497A ,2025-07-04

[5]

电光调制激光干涉线位移及角位移测量装置和方法 [P].

黄腾超 ;

王先帆 ;

车双良 ;

舒晓武 .

中国专利 :CN112629571B ,2021-04-09

[6]

基于不同调制深度的激光相调干涉直线度与位移测量的装置及方法 [P].

楼盈天 ;

陈本永 ;

严利平 .

中国专利 :CN118794348A ,2024-10-18

[7]

双光源正弦相位调制位移测量干涉仪 [P].

王渤帆 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN101738160A ,2010-06-16

[8]

一种基于ZYNQ的相位调制激光干涉位移测量系统及方法 [P].

李理 ;

李昊 ;

王作斌 ;

宋正勋 ;

王璐 ;

于淼 ;

许红梅 .

中国专利 :CN119509342A ,2025-02-25

[9]

基于激光偏振干涉的纳米位移实时测量系统及方法 [P].

邱学军 ;

王涵 ;

郭旖 ;

田欣野 ;

曹振洲 .

中国专利 :CN115493503A ,2022-12-20

[10]

基于激光偏振干涉的纳米位移实时测量系统及方法 [P].

邱学军 ;

王涵 ;

郭旖 ;

田欣野 ;

曹振洲 .

中国专利 :CN115493503B ,2025-03-04

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