基于不同调制深度的激光相调干涉直线度与位移测量的装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410631579.5

申请日：

2024-05-21

公开(公告)号：

CN118794348A

公开(公告)日：

2024-10-18

发明(设计)人：

楼盈天陈本永严利平

申请人：

浙江理工大学

申请人地址：

310018 浙江省杭州市江干区下沙高教园区2号大街928号

IPC主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/27

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司 33200

代理人：

林超

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/02申请日:20240521
2024-10-18	公开	公开

共 50 条

[1]

基于相位调制的双激光单频干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

严利平 ;

陈本永 .

中国专利 :CN106017333B ,2016-10-12

[2]

双相位测量式激光干涉直线度及位移同时测量装置和方法 [P].

陈本永 ;

楼盈天 ;

严利平 .

中国专利 :CN111735391A ,2020-10-02

[3]

用于位移直线度测量的激光干涉系统 [P].

侯文玫 ;

乐燕芬 ;

句爱松 .

中国专利 :CN104613902B ,2015-05-13

[4]

用于位移直线度测量的激光干涉系统 [P].

侯文玫 ;

乐燕芬 ;

句爱松 .

中国专利 :CN102506764B ,2012-06-20

[5]

差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

严利平 ;

陈本永 ;

楼盈天 ;

谢建东 .

中国专利 :CN110411335A ,2019-11-05

[6]

单频干涉直线度误差及其位置测量与补偿的装置及方法 [P].

陈本永 ;

楼盈天 ;

严利平 ;

张恩政 .

中国专利 :CN106885535B ,2017-06-23

[7]

一种位移直线度测量的激光干涉系统 [P].

侯文玫 ;

乐燕芬 ;

句爱松 .

中国专利 :CN202274859U ,2012-06-13

[8]

基于慢光材料的双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法 [P].

刘炳国 ;

刘国栋 ;

浦昭邦 ;

陈凤东 ;

胡涛 ;

庄志涛 ;

宫娜 .

中国专利 :CN102538715A ,2012-07-04

[9]

电光调制激光干涉线位移及角位移测量装置和方法 [P].

黄腾超 ;

王先帆 ;

车双良 ;

舒晓武 .

中国专利 :CN112629571B ,2021-04-09

[10]

一种激光直线度和位移的测量装置 [P].

蒋弘 ;

吴健 .

中国专利 :CN103308004B ,2013-09-18

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