差动式激光干涉纳米位移测量方法及装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310015103.0
申请日
2013-01-15
公开(公告)号
CN103075969B
公开(公告)日
2013-05-01
发明(设计)人
严利平 陈本永 田秋红 孙政荣 周砚江
申请人
申请人地址
310018 浙江省杭州市江干经济开发区白杨街道2号大街5号
IPC主分类号
G01B1102
IPC分类号
代理机构
杭州求是专利事务所有限公司 33200
代理人
林怀禹
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法 [P]. 
严利平 ;
陈本永 ;
楼盈天 ;
谢建东 .
中国专利 :CN110411335A ,2019-11-05
[2]
基于相位调制的双激光单频干涉纳米位移测量装置及方法 [P]. 
严利平 ;
陈本永 .
中国专利 :CN106017333B ,2016-10-12
[3]
非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置及方法 [P]. 
许素安 ;
洪亮 ;
章志勇 ;
曾涛 ;
富雅琼 ;
张宝武 .
中国专利 :CN120252497B ,2025-08-22
[4]
非线性误差自补偿的激光干涉纳米位移测量装置及方法 [P]. 
许素安 ;
洪亮 ;
章志勇 ;
曾涛 ;
富雅琼 ;
张宝武 .
中国专利 :CN120252497A ,2025-07-04
[5]
调制式激光干涉空气折射率测量方法及装置 [P]. 
严利平 ;
陈本永 ;
刘燕娜 ;
董文钧 .
中国专利 :CN103076304A ,2013-05-01
[6]
角度补偿式激光外差干涉位移测量装置及方法 [P]. 
张恩政 ;
陈本永 .
中国专利 :CN107255451A ,2017-10-17
[7]
双频激光光栅干涉测量方法及测量系统 [P]. 
颜树华 ;
王国超 ;
杨俊 ;
周卫红 ;
杨东兴 .
中国专利 :CN102353327A ,2012-02-15
[8]
干涉式位移测量装置 [P]. 
阿米恩·赖希奥尔德 ;
彼得·丘 ;
赵崧源 ;
埃德加·布鲁克 .
英国专利 :CN117677817A ,2024-03-08
[9]
双相位测量式激光干涉直线度及位移同时测量装置和方法 [P]. 
陈本永 ;
楼盈天 ;
严利平 .
中国专利 :CN111735391A ,2020-10-02
[10]
双频激光干涉仪测量速度的自由落体测量装置 [P]. 
程兆谷 ;
高海军 .
中国专利 :CN2727699Y ,2005-09-21