实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710037262.5

申请日：

2007-02-07

公开(公告)号：

CN100547344C

公开(公告)日：

2007-09-12

发明(设计)人：

何国田王向朝

申请人：

申请人地址：

201800上海市800-211邮政信箱

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

G01B1124

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-10-07	授权	授权
2013-03-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101426319318 IPC(主分类):G01B 9/02 专利号:ZL2007100372625 申请日:20070207 授权公告日:20091007 终止日期:20120207
2007-09-12	公开	公开
2007-11-07	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置 [P].

何国田 ;

王向朝 .

中国专利 :CN201003947Y ,2008-01-09

[2]

半导体激光正弦相位调制干涉仪调制深度的测量方法 [P].

王渤帆 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN102288387B ,2011-12-21

[3]

双光源正弦相位调制位移测量干涉仪 [P].

王渤帆 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN101738160A ,2010-06-16

[4]

双正弦相位调制实时干涉测距仪 [P].

李代林 ;

王向朝 .

中国专利 :CN1563890A ,2005-01-12

[5]

提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法 [P].

李中梁 ;

王向朝 ;

王渤帆 .

中国专利 :CN102169012B ,2011-08-31

[6]

测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪 [P].

钱锋 ;

王向朝 ;

王学锋 .

中国专利 :CN1147703C ,2002-11-13

[7]

一种正弦相位调制干涉仪的相位调制深度控制方法及系统 [P].

吕明俊 ;

张烈山 ;

徐欢 ;

邢兆强 ;

汪晗 ;

姚聪 ;

杨梁 .

中国专利 :CN119197303A ,2024-12-27

[8]

正弦相位调制干涉仪PGC解调实时归一化修正装置及方法 [P].

严利平 ;

张世华 ;

陈本永 .

中国专利 :CN107843189A ,2018-03-27

[9]

正弦相位调制干涉仪PGC解调方法、系统、装置及存储介质 [P].

张烈山 ;

邓惠铭 ;

肖武 ;

方文俊 .

中国专利 :CN116538909B ,2025-12-30

[10]

正弦相位调制型激光自混合干涉仪及其测量方法 [P].

王鸣 ;

夏巍 ;

刘强 ;

李春成 ;

郝辉 ;

郭冬梅 .

中国专利 :CN103528511A ,2014-01-22

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