提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110004286.7

申请日：

2011-01-11

公开(公告)号：

CN102169012B

公开(公告)日：

2011-08-31

发明(设计)人：

李中梁王向朝王渤帆

申请人：

申请人地址：

201800 上海市800-211邮政信箱

IPC主分类号：

G01H900

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-31	公开	公开
2011-10-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101120311789 IPC(主分类):G01H 9/00 专利申请号:2011100042867 申请日:20110111
2014-04-09	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体激光正弦相位调制干涉仪调制深度的测量方法 [P].

王渤帆 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN102288387B ,2011-12-21

[2]

实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪 [P].

何国田 ;

王向朝 .

中国专利 :CN100547344C ,2007-09-12

[3]

双光源正弦相位调制位移测量干涉仪 [P].

王渤帆 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN101738160A ,2010-06-16

[4]

复合电流调制半导体激光干涉仪 [P].

王渤帆 ;

李中梁 ;

王向朝 ;

崔丽君 .

中国专利 :CN102636109A ,2012-08-15

[5]

正弦相位调制型激光自混合干涉仪及其测量方法 [P].

王鸣 ;

夏巍 ;

刘强 ;

李春成 ;

郝辉 ;

郭冬梅 .

中国专利 :CN103528511A ,2014-01-22

[6]

一种正弦相位调制干涉仪的相位调制深度控制方法及系统 [P].

吕明俊 ;

张烈山 ;

徐欢 ;

邢兆强 ;

汪晗 ;

姚聪 ;

杨梁 .

中国专利 :CN119197303A ,2024-12-27

[7]

正弦相位调制干涉仪PGC解调方法、系统、装置及存储介质 [P].

张烈山 ;

邓惠铭 ;

肖武 ;

方文俊 .

中国专利 :CN116538909B ,2025-12-30

[8]

差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法 [P].

严利平 ;

陈本永 ;

楼盈天 ;

谢建东 .

中国专利 :CN110411335A ,2019-11-05

[9]

一种提高测量精度的激光干涉仪 [P].

张白 ;

刘杰 ;

杨来龙 ;

王鹤 .

中国专利 :CN210570480U ,2020-05-19

[10]

一种正弦相位调制激光干涉仪及载波生成、信号解调方法 [P].

袁鹏哲 ;

张烈山 ;

张启元 ;

李荣森 ;

邰承岳 .

中国专利 :CN113175867B ,2021-07-27

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