低应力非晶金刚石厚膜镀层

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专利类型
发明
申请号
CN201910947105.0
申请日
2019-10-08
公开(公告)号
CN110592532A
公开(公告)日
2019-12-20
发明(设计)人
史旭 杨明楚
申请人
申请人地址
201703 上海市青浦区崧辉路399号
IPC主分类号
C23C1406
IPC分类号
C23C1432
代理机构
北京恒都律师事务所 11395
代理人
李向东
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
低应力非晶金刚石厚膜镀层 [P]. 
史旭 ;
杨明楚 .
中国专利 :CN110592532B ,2024-01-30
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