一种镀非晶金刚石膜的工艺

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专利类型
发明
申请号
CN200310105871.1
申请日
2003-10-30
公开(公告)号
CN1540031A
公开(公告)日
2004-10-27
发明(设计)人
黎永钧 张源斌
申请人
申请人地址
710043陕西省西安市火炬路1号楼南楼5层
IPC主分类号
C23C1627
IPC分类号
C23C1602
代理机构
西安新思维专利事务所有限公司
代理人
商宇科
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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