硅单晶的拉制方法

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专利类型
发明
申请号
CN201010143832.0
申请日
2010-03-29
公开(公告)号
CN101922041B
公开(公告)日
2010-12-22
发明(设计)人
M·贝尔
申请人
申请人地址
德国慕尼黑
IPC主分类号
C30B1520
IPC分类号
C30B2906
代理机构
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人
苗征;于辉
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
硅单晶拉制方法 [P]. 
李英涛 ;
徐由兵 ;
贾瑞峰 ;
邹凯 ;
高一凡 ;
曾世铭 .
中国专利 :CN105063744A ,2015-11-18
[2]
直拉硅单晶炉装置及硅单晶拉制方法 [P]. 
周俭 .
中国专利 :CN102234836A ,2011-11-09
[3]
CZ法拉制硅单晶锭的杂质源、硅单晶锭及其拉制方法 [P]. 
李涛勇 ;
闫洪嘉 ;
许堃 ;
李林东 .
中国专利 :CN118727125A ,2024-10-01
[4]
CZ法拉制硅单晶锭的杂质源、硅单晶锭及其拉制方法 [P]. 
李涛勇 ;
闫洪嘉 ;
许堃 ;
李林东 .
中国专利 :CN118727125B ,2025-01-03
[5]
重掺硼硅单晶棒的拉制方法 [P]. 
沈杨宇 ;
韩建超 ;
陈建纲 ;
刘苏生 .
中国专利 :CN104746138A ,2015-07-01
[6]
一种拉制硅单晶工艺方法 [P]. 
顾月强 ;
谢海涛 .
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[7]
直拉硅单晶的装置及第一坩埚、直拉硅单晶及拉制方法 [P]. 
闫洪嘉 ;
李涛勇 .
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[8]
区熔硅单晶收尾方法和拉制方法 [P]. 
袁静 ;
关树军 ;
陈辉 .
中国专利 :CN110318096A ,2019-10-11
[9]
一种区熔硅单晶的拉制方法 [P]. 
乔柳 ;
张雪囡 ;
张长旭 ;
孙健 ;
李立伟 ;
王彦君 .
中国专利 :CN103436951A ,2013-12-11
[10]
拉制重掺磷硅单晶后的排气方法 [P]. 
伊冉 ;
曹启刚 ;
芮阳 ;
杨凯 ;
王黎光 ;
蔡瑞 ;
魏兴彤 ;
马佳乐 .
中国专利 :CN119956471A ,2025-05-09