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硅单晶的拉制方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201010143832.0
申请日
:
2010-03-29
公开(公告)号
:
CN101922041B
公开(公告)日
:
2010-12-22
发明(设计)人
:
M·贝尔
申请人
:
申请人地址
:
德国慕尼黑
IPC主分类号
:
C30B1520
IPC分类号
:
C30B2906
代理机构
:
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人
:
苗征;于辉
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2011-02-02
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101035896352 IPC(主分类):C30B 15/20 专利申请号:2010101438320 申请日:20100329
2010-12-22
公开
公开
2012-12-12
授权
授权
共 50 条
[1]
硅单晶拉制方法
[P].
李英涛
论文数:
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李英涛
;
徐由兵
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徐由兵
;
贾瑞峰
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贾瑞峰
;
邹凯
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邹凯
;
高一凡
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高一凡
;
曾世铭
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曾世铭
.
中国专利
:CN105063744A
,2015-11-18
[2]
直拉硅单晶炉装置及硅单晶拉制方法
[P].
周俭
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周俭
.
中国专利
:CN102234836A
,2011-11-09
[3]
CZ法拉制硅单晶锭的杂质源、硅单晶锭及其拉制方法
[P].
李涛勇
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苏州晨晖智能设备有限公司
苏州晨晖智能设备有限公司
李涛勇
;
闫洪嘉
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机构:
苏州晨晖智能设备有限公司
苏州晨晖智能设备有限公司
闫洪嘉
;
许堃
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苏州晨晖智能设备有限公司
苏州晨晖智能设备有限公司
许堃
;
李林东
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机构:
苏州晨晖智能设备有限公司
苏州晨晖智能设备有限公司
李林东
.
中国专利
:CN118727125A
,2024-10-01
[4]
CZ法拉制硅单晶锭的杂质源、硅单晶锭及其拉制方法
[P].
李涛勇
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机构:
苏州晨晖智能设备有限公司
苏州晨晖智能设备有限公司
李涛勇
;
闫洪嘉
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苏州晨晖智能设备有限公司
苏州晨晖智能设备有限公司
闫洪嘉
;
许堃
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机构:
苏州晨晖智能设备有限公司
苏州晨晖智能设备有限公司
许堃
;
李林东
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机构:
苏州晨晖智能设备有限公司
苏州晨晖智能设备有限公司
李林东
.
中国专利
:CN118727125B
,2025-01-03
[5]
重掺硼硅单晶棒的拉制方法
[P].
沈杨宇
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沈杨宇
;
韩建超
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韩建超
;
陈建纲
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陈建纲
;
刘苏生
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刘苏生
.
中国专利
:CN104746138A
,2015-07-01
[6]
一种拉制硅单晶工艺方法
[P].
顾月强
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顾月强
;
谢海涛
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谢海涛
.
中国专利
:CN1333115C
,2005-11-16
[7]
直拉硅单晶的装置及第一坩埚、直拉硅单晶及拉制方法
[P].
闫洪嘉
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机构:
苏州晨晖智能设备有限公司
苏州晨晖智能设备有限公司
闫洪嘉
;
李涛勇
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机构:
苏州晨晖智能设备有限公司
苏州晨晖智能设备有限公司
李涛勇
.
中国专利
:CN121204806A
,2025-12-26
[8]
区熔硅单晶收尾方法和拉制方法
[P].
袁静
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袁静
;
关树军
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关树军
;
陈辉
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陈辉
.
中国专利
:CN110318096A
,2019-10-11
[9]
一种区熔硅单晶的拉制方法
[P].
乔柳
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乔柳
;
张雪囡
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张雪囡
;
张长旭
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张长旭
;
孙健
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孙健
;
李立伟
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李立伟
;
王彦君
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王彦君
.
中国专利
:CN103436951A
,2013-12-11
[10]
拉制重掺磷硅单晶后的排气方法
[P].
伊冉
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
伊冉
;
曹启刚
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
曹启刚
;
芮阳
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
芮阳
;
杨凯
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
杨凯
;
王黎光
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宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
王黎光
;
蔡瑞
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宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
蔡瑞
;
魏兴彤
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
魏兴彤
;
马佳乐
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
马佳乐
.
中国专利
:CN119956471A
,2025-05-09
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