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显影液循环处理设备的清洗系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201020566159.7
申请日：
2010-10-18
公开(公告)号：
CN201897691U
公开(公告)日：
2011-07-13
发明(设计)人：
张燕厚
梁继业
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市虎门镇村头工业区团结大道东莞市威迪膜科技有限公司
IPC主分类号：
G03F730
IPC分类号：
B08B300
代理机构：
厦门市新华专利商标代理有限公司 35203
代理人：
彭长久
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-12-10 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101591362303 IPC(主分类):G03F 7/30 专利号:ZL2010205661597 申请日:20101018 授权公告日:20110713 终止日期:20131018 |
| 2011-07-13 | 授权 | 授权 |
| 2013-02-27 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101524198736 IPC(主分类):G03F 7/30 专利号:ZL2010205661597 变更事项:专利权人 变更前:东莞市威迪膜科技有限公司 变更后:广东威迪科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:523000 广东省东莞市虎门镇村头工业区团结大道东莞市威迪膜科技有限公司 变更后:523000 广东省东莞市虎门镇村头团结大道工业区广东威迪科技股份有限公司 |