显影液循环处理设备的清洗系统及其清洗方法

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专利类型
发明
申请号
CN201010510959.1
申请日
2010-10-18
公开(公告)号
CN102053507A
公开(公告)日
2011-05-11
发明(设计)人
张燕厚 梁继业
申请人
申请人地址
523000 广东省东莞市虎门镇村头工业区团结大道东莞市威迪膜科技有限公司
IPC主分类号
G03F730
IPC分类号
B08B300
代理机构
厦门市新华专利商标代理有限公司 35203
代理人
彭长久
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
显影液循环处理设备的清洗系统 [P]. 
张燕厚 ;
梁继业 .
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[2]
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[3]
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[4]
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