压印用固化性组合物、图案化方法和图案

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280034131.0

申请日：

2012-07-09

公开(公告)号：

CN103650107B

公开(公告)日：

2014-03-19

发明(设计)人：

儿玉邦彦榎本雄一郎臼杵一幸大松祯北川浩隆

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

B29C5902 C08F244 G11B584

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

贺卫国

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581380691 IPC(主分类):H01L 21/027 专利申请号:2012800341310 申请日:20120709
2016-11-16	授权	授权
2014-03-19	公开	公开

共 50 条

[1]

压印用固化性组合物、图案形成方法和图案 [P].

榎本雄一郎 ;

儿玉邦彦 ;

樽谷晋司 .

中国专利 :CN103814427A ,2014-05-21

[2]

压印用可固化组合物、图案化方法和图案 [P].

儿玉邦彦 ;

崎田享平 ;

米泽裕之 .

中国专利 :CN102264770A ,2011-11-30

[3]

光固化性组合物和图案化方法 [P].

松藤奈央子 ;

伊藤俊树 ;

川端香奈江 .

中国专利 :CN104039836B ,2014-09-10

[4]

纳米压印用固化性组合物、图案形成方法 [P].

高柳丘 ;

藤田明德 .

中国专利 :CN101609255A ,2009-12-23

[5]

压印用固化性组合物、固化物、图案形成方法、光刻法、图案及光刻用掩模 [P].

后藤雄一郎 ;

丸茂和博 ;

北川浩隆 ;

大松祯 .

中国专利 :CN107408495B ,2017-11-28

[6]

固化性组合物和使用所述固化性组合物的图案化方法 [P].

三原知恵子 ;

伊藤俊树 ;

冲仲元毅 .

中国专利 :CN104379611A ,2015-02-25

[7]

光压印用固化性组合物及使用其的图案形成方法 [P].

伊部武史 ;

矢田真 .

中国专利 :CN109195999B ,2019-01-11

[8]

压印用光固化性树脂组合物、压印用光固化性树脂组合物的制造方法、及图案形成体的制造方法 [P].

小田博和 ;

那须慎太郎 ;

金子雅一 .

中国专利 :CN113614132A ,2021-11-05

[9]

压印用光固化性树脂组合物、压印用光固化性树脂组合物的制造方法、及图案形成体的制造方法 [P].

小田博和 ;

那须慎太郎 ;

金子雅一 .

日本专利 :CN113614132B ,2024-09-20

[10]

光固化性组合物和使用该光固化性组合物的图案化方法 [P].

伊藤俊树 ;

三原知惠子 ;

川端香奈江 ;

冲仲元毅 .

中国专利 :CN103930448A ,2014-07-16

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