压印用固化性组合物、图案形成方法和图案

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280045728.5

申请日：

2012-09-06

公开(公告)号：

CN103814427A

公开(公告)日：

2014-05-21

发明(设计)人：

榎本雄一郎儿玉邦彦樽谷晋司

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

B29C5902 C08F244

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

陈平

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-21	公开	公开
2014-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583085263 IPC(主分类):H01L 21/027 专利申请号:2012800457285 申请日:20120906
2016-10-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101739800570 IPC(主分类):H01L 21/027 专利申请号:2012800457285 申请公布日:20140521

共 50 条

[1]

压印用固化性组合物、图案化方法和图案 [P].

儿玉邦彦 ;

榎本雄一郎 ;

臼杵一幸 ;

大松祯 ;

北川浩隆 .

中国专利 :CN103650107B ,2014-03-19

[2]

纳米压印用固化性组合物、图案形成方法 [P].

高柳丘 ;

藤田明德 .

中国专利 :CN101609255A ,2009-12-23

[3]

压印用固化性组合物、固化物、图案形成方法、光刻法、图案及光刻用掩模 [P].

后藤雄一郎 ;

丸茂和博 ;

北川浩隆 ;

大松祯 .

中国专利 :CN107408495B ,2017-11-28

[4]

光压印用固化性组合物及使用其的图案形成方法 [P].

伊部武史 ;

矢田真 .

中国专利 :CN109195999B ,2019-01-11

[5]

压印用可固化组合物、图案化方法和图案 [P].

儿玉邦彦 ;

崎田享平 ;

米泽裕之 .

中国专利 :CN102264770A ,2011-11-30

[6]

光固化性压印用组合物以及使用该组合物的图案的形成方法 [P].

梅川秀喜 ;

川端雄一郎 .

中国专利 :CN102959679A ,2013-03-06

[7]

纳米压印光刻用固化性组合物及使用其的图案形成方法 [P].

高柳丘 ;

河边保雅 .

中国专利 :CN101154042B ,2008-04-02

[8]

光固化性组合物及图案形成方法 [P].

昆野健理 ;

平野勋 .

中国专利 :CN113777883A ,2021-12-10

[9]

光固化性组合物及图案形成方法 [P].

昆野健理 .

中国专利 :CN113777884A ,2021-12-10

[10]

光固化性组合物及使用其的图案形成方法 [P].

河边保雅 ;

高柳丘 .

中国专利 :CN101105625A ,2008-01-16

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