一种硅片吹扫装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821812460.4

申请日：

2018-11-05

公开(公告)号：

CN208806228U

公开(公告)日：

2019-04-30

发明(设计)人：

顾宇婷费正洪杨冰

申请人：

申请人地址：

224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

胡彬

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-30	授权	授权
2021-02-26	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人变更前:盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司变更后:阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司变更事项:地址变更前:224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号变更后:224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号变更事项:专利权人变更前:阿特斯阳光电力集团有限公司变更后:阿特斯阳光电力集团股份有限公司

共 50 条

[1]

一种硅片吹扫吸附装置 [P].

王小彬 ;

董晓清 .

中国专利 :CN214099617U ,2021-08-31

[2]

一种硅片传输轨道的吹扫装置 [P].

陈健 .

中国专利 :CN202700885U ,2013-01-30

[3]

一种管线自动吹扫装置 [P].

刘楠 ;

潘峰 ;

倪明雨 ;

李荆 ;

张朝军 ;

周国立 ;

胡顺铮 ;

齐桂强 ;

徐福根 ;

李阳 ;

范永超 ;

孙涛 .

中国专利 :CN209238616U ,2019-08-13

[4]

一种钢板表面吹扫装置 [P].

孙开裕 .

中国专利 :CN210474999U ,2020-05-08

[5]

一种恒流吹扫装置 [P].

李大鹏 ;

王明峰 ;

高亚男 ;

李晓宏 ;

王宁波 ;

张飞 ;

董清锋 ;

权亚文 ;

杜鹏鹏 ;

陈菲 ;

史晓瑞 ;

王斌 ;

鲍俊杰 ;

李琦 .

中国专利 :CN207056532U ,2018-03-02

[6]

气体吹扫装置 [P].

杨树军 ;

张国瑞 ;

张伟男 ;

张海鹏 ;

朱靖伟 ;

李旭 .

中国专利 :CN215908869U ,2022-02-25

[7]

一种吹扫装置 [P].

朱玉新 ;

朱真黎 .

中国专利 :CN221404397U ,2024-07-23

[8]

一种吹扫装置 [P].

赵凯 ;

王永智 .

中国专利 :CN210080241U ,2020-02-18

[9]

一种吹扫装置 [P].

杨利军 ;

朱军营 .

中国专利 :CN223705828U ,2025-12-23

[10]

一种吹扫装置 [P].

杨卓舒 ;

高艳慧 ;

徐武锰 ;

王新刚 ;

程显友 ;

张四 .

中国专利 :CN205413794U ,2016-08-03

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