共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种硅片吹扫吸附装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022902118.7
申请日：
2020-12-03
公开(公告)号：
CN214099617U
公开(公告)日：
2021-08-31
发明(设计)人：
王小彬
董晓清
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新区硕放工业集中区五期C20-2号地块
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
B08B502
代理机构：
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260
代理人：
顾品荧
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-29 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/687 变更事项:专利权人 变更前:无锡市江松科技有限公司 变更后:无锡江松科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:214000 江苏省无锡市新区硕放工业集中区五期C20-2号地块 变更后:214000 江苏省无锡市新吴区硕放长江东路208号 |
| 2021-08-31 | 授权 | 授权 |