一种吹扫吸附输送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022895142.2

申请日：

2020-12-03

公开(公告)号：

CN213340323U

公开(公告)日：

2021-06-01

发明(设计)人：

王小彬董晓清

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新区硕放工业集中区五期C20-2号地块

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21683 B08B502

代理机构：

无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260

代理人：

顾品荧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-01	授权	授权
2022-03-29	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/677 变更事项:专利权人变更前:无锡市江松科技有限公司变更后:无锡江松科技股份有限公司变更事项:地址变更前:214000 江苏省无锡市新区硕放工业集中区五期C20-2号地块变更后:214000 江苏省无锡市新吴区硕放长江东路208号

共 50 条

[1]

一种硅片吹扫吸附装置 [P].

王小彬 ;

董晓清 .

中国专利 :CN214099617U ,2021-08-31

[2]

一种用于吸附塔的氮气吹扫装置 [P].

徐阳 ;

张力 ;

田文成 .

中国专利 :CN216223656U ,2022-04-08

[3]

一种吹扫工具 [P].

陈永利 ;

杨庆彬 ;

陶维峰 ;

孙得维 ;

高远 ;

闫立强 ;

隗永强 .

中国专利 :CN208545349U ,2019-02-26

[4]

一种吹扫装置 [P].

石坚 .

中国专利 :CN207756570U ,2018-08-24

[5]

一种吹扫装置 [P].

朱玉新 ;

朱真黎 .

中国专利 :CN221404397U ,2024-07-23

[6]

一种吹扫装置 [P].

张园园 ;

郭佩 ;

孔德刚 .

中国专利 :CN201950047U ,2011-08-31

[7]

一种吹扫装置 [P].

赵凯 ;

王永智 .

中国专利 :CN210080241U ,2020-02-18

[8]

一种吹扫装置 [P].

潘成云 ;

杨传文 ;

唐伟 ;

魏贵华 ;

罗方富 .

中国专利 :CN220371605U ,2024-01-23

[9]

一种吹扫装置 [P].

孙绍林 ;

刘笼 .

中国专利 :CN222918674U ,2025-05-30

[10]

一种吹扫装置 [P].

张兆丰 ;

卯杰 ;

陈实 ;

张兴麟 ;

项立智 ;

向令辉 .

中国专利 :CN218361056U ,2023-01-24

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