硅片吸附装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322408180.4

申请日：

2023-09-04

公开(公告)号：

CN220730628U

公开(公告)日：

2024-04-05

发明(设计)人：

张其文扶小莲刘阳波陈正洪

申请人：

四川鸿源鼎芯科技有限公司

申请人地址：

610100 四川省成都市龙泉驿区龙泉车城东七路360号行政中心一楼3号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

H01L21/683

代理机构：

成都信捷同创知识产权代理事务所(普通合伙) 51323

代理人：

左正超

法律状态：

授权

国省代码：

四川省成都市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-05	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片吸附抓取装置 [P].

徐雷达 .

中国专利 :CN218004818U ,2022-12-09

[2]

硅片整形吸附装置 [P].

卢森景 ;

王相军 ;

周道全 .

中国专利 :CN203013690U ,2013-06-19

[3]

一种硅片交接吸附装置 [P].

吴火亮 ;

江旭初 ;

董亚聪 ;

徐腾肖 ;

唐海明 ;

李仲禹 .

中国专利 :CN214848566U ,2021-11-23

[4]

全自动硅片转动装置 [P].

张其文 ;

扶小莲 ;

刘阳波 ;

陈正洪 .

中国专利 :CN220710265U ,2024-04-02

[5]

硅片真空吸附装置 [P].

耿彪 .

中国专利 :CN201488516U ,2010-05-26

[6]

一种吸附装置及加工设备 [P].

倪植 ;

杨云龙 ;

高阳 ;

孙志超 ;

刘炳先 .

中国专利 :CN220348767U ,2024-01-16

[7]

一种硅片吸附单元及硅片传输装置 [P].

杜欣宇 ;

金实 ;

张利 .

中国专利 :CN212783403U ,2021-03-23

[8]

一种负压吸附装置及硅片搬运装置 [P].

刘磊 ;

龚燕斌 ;

俞志军 ;

孙留华 ;

谷丙楠 ;

武玉鑫 .

中国专利 :CN223436510U ,2025-10-14

[9]

一种硅片废料吸附装置 [P].

朱亚文 ;

宋进虎 .

中国专利 :CN209691739U ,2019-11-26

[10]

一种硅片双面吸附装置 [P].

周宏业 ;

胡艳东 ;

廖文涛 .

中国专利 :CN222721904U ,2025-04-04

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