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一种硅片交接吸附装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121427145.1
申请日：
2021-06-25
公开(公告)号：
CN214848566U
公开(公告)日：
2021-11-23
发明(设计)人：
吴火亮 江旭初 董亚聪 徐腾肖 唐海明 李仲禹
申请人：
申请人地址：
200135 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
陈宏
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-11-23 授权 授权
共 50 条
[1]
一种柔性吸附组件、硅片交接机构及硅片交接装置 [P]. 
赵文波 .
中国专利 :CN214670086U ,2021-11-09
[2]
硅片吸附装置 [P]. 
张其文 ;
扶小莲 ;
刘阳波 ;
陈正洪 .
中国专利 :CN220730628U ,2024-04-05
[3]
一种硅片废料吸附装置 [P]. 
朱亚文 ;
宋进虎 .
中国专利 :CN209691739U ,2019-11-26
[4]
一种硅片双面吸附装置 [P]. 
周宏业 ;
胡艳东 ;
廖文涛 .
中国专利 :CN222721904U ,2025-04-04
[5]
一种硅片吸附单元及硅片传输装置 [P]. 
杜欣宇 ;
金实 ;
张利 .
中国专利 :CN212783403U ,2021-03-23
[6]
一种硅片吸附装置以及一种硅片加工设备 [P]. 
沈晓泱 ;
陈刚 .
中国专利 :CN215451372U ,2022-01-07
[7]
一种硅片吹扫吸附装置 [P]. 
王小彬 ;
董晓清 .
中国专利 :CN214099617U ,2021-08-31
[8]
一种边缘抛光硅片吸附装置 [P]. 
李杰 ;
朱棣 ;
于友 ;
刘世伟 ;
石坚 .
中国专利 :CN210335566U ,2020-04-17
[9]
一种边缘抛光硅片吸附装置 [P]. 
马胜南 ;
马胜北 .
中国专利 :CN222768120U ,2025-04-18
[10]
硅片吸附抓取装置 [P]. 
徐雷达 .
中国专利 :CN218004818U ,2022-12-09
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