硅片整形吸附装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220685520.7

申请日：

2012-12-13

公开(公告)号：

CN203013690U

公开(公告)日：

2013-06-19

发明(设计)人：

卢森景王相军周道全

申请人：

申请人地址：

201808 上海市嘉定区徐行镇新建一路2255号1幢

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-30	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20121213 授权公告日:20130619
2013-06-19	授权	授权
2016-11-16	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101741679172 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL2012206855207 登记生效日:20161027 变更事项:专利权人变更前权利人:上海釜川超声波科技有限公司变更后权利人:上海釜川自动化设备有限公司变更事项:地址变更前权利人:201808 上海市嘉定区徐行镇新建一路2255号1幢变更后权利人:201822 上海市嘉定区环城路200号三层3153室

共 50 条

[1]

硅片吸附抓取装置 [P].

徐雷达 .

中国专利 :CN218004818U ,2022-12-09

[2]

一种太阳能硅片吸附装置 [P].

嵇峰 .

中国专利 :CN211700229U ,2020-10-16

[3]

硅片吸附装置 [P].

张其文 ;

扶小莲 ;

刘阳波 ;

陈正洪 .

中国专利 :CN220730628U ,2024-04-05

[4]

破损硅片分选处理装置 [P].

卢森景 ;

王相军 ;

周道全 .

中国专利 :CN202943038U ,2013-05-22

[5]

一种硅片双面吸附装置 [P].

周宏业 ;

胡艳东 ;

廖文涛 .

中国专利 :CN222721904U ,2025-04-04

[6]

吸附式硅片分离装置 [P].

单云超 .

中国专利 :CN204391060U ,2015-06-10

[7]

硅片真空吸附装置 [P].

耿彪 .

中国专利 :CN201488516U ,2010-05-26

[8]

一种硅片吹扫吸附装置 [P].

王小彬 ;

董晓清 .

中国专利 :CN214099617U ,2021-08-31

[9]

一种用于硅片残片吸附的万向吸附装置 [P].

王占滨 ;

陈信 ;

潘世林 ;

于兴瑞 ;

闫志瑞 ;

肖清华 ;

梁海岗 ;

梁鹏飞 .

中国专利 :CN118204946A ,2024-06-18

[10]

硅片烘干炉的硅片传送装置 [P].

罗贤良 ;

苏金财 .

中国专利 :CN207529914U ,2018-06-22

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