吸附式硅片分离装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520070923.4

申请日：

2015-02-01

公开(公告)号：

CN204391060U

公开(公告)日：

2015-06-10

发明(设计)人：

单云超

申请人：

申请人地址：

300000 天津市滨海新区美韵家园20-2-1501

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

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法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-10	授权	授权
2020-01-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20150201 授权公告日:20150610 终止日期:20190201

共 50 条

[1]

一种硅片吸附及分离装置 [P].

吴廷斌 ;

张学强 ;

张建伟 ;

罗银兵 ;

邓大桥 .

中国专利 :CN214588791U ,2021-11-02

[2]

硅片分离装置 [P].

刘裕通 .

中国专利 :CN209119048U ,2019-07-16

[3]

硅片整形吸附装置 [P].

卢森景 ;

王相军 ;

周道全 .

中国专利 :CN203013690U ,2013-06-19

[4]

一种硅片分离式吸附传输装置 [P].

沈晓 .

中国专利 :CN214878450U ,2021-11-26

[5]

硅片吸附装置 [P].

张其文 ;

扶小莲 ;

刘阳波 ;

陈正洪 .

中国专利 :CN220730628U ,2024-04-05

[6]

硅片自动分离装置 [P].

孙铁囤 ;

汤平 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN206574686U ,2017-10-20

[7]

硅片真空吸附装置 [P].

耿彪 .

中国专利 :CN201488516U ,2010-05-26

[8]

振动式磁吸附砂铁分离装置 [P].

刘昌忠 ;

蒲吉标 ;

王银芳 ;

陈德洪 ;

陈以坤 .

中国专利 :CN210523724U ,2020-05-15

[9]

硅片吸附抓取装置 [P].

徐雷达 .

中国专利 :CN218004818U ,2022-12-09

[10]

吸附分离装置 [P].

郭应辉 .

中国专利 :CN203944271U ,2014-11-19

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