处理气体的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680040153.2

申请日：

2006-09-28

公开(公告)号：

CN101297063A

公开(公告)日：

2008-10-29

发明(设计)人：

J·R·史密斯 M·雷多郁 S·J·科斯

申请人：

申请人地址：

英国西萨塞克斯郡

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

庞立志;范赤

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-10-29	公开	公开
2014-11-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101588950319 IPC(主分类):C23C 16/44 专利号:ZL2006800401532 申请日:20060928 授权公告日:20120704 终止日期:20130928
2012-07-04	授权	授权
2008-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

处理气体物流的方法 [P].

J·R·史密斯 ;

G·P·奈特 .

中国专利 :CN101610829A ,2009-12-23

[2]

处理气体的方法 [P].

威廉·费舍尔 .

中国专利 :CN105378384A ,2016-03-02

[3]

处理气体物流的方法 [P].

纪和春 .

中国专利 :CN109966820A ,2019-07-05

[4]

处理气体物流的方法 [P].

P·钱德勒 ;

C·P·琼斯 ;

P·弗莱彻尔 ;

C·杰曼 .

中国专利 :CN101610831A ,2009-12-23

[5]

处理气体产生装置、处理气体产生方法、基板处理方法 [P].

糸永将司 ;

渡边圣之 .

中国专利 :CN104882363A ,2015-09-02

[6]

处理气体流的方法 [P].

马克·C·安德森 ;

迈克尔·F·雷 ;

罗纳德·谢弗 .

中国专利 :CN101479022A ,2009-07-08

[7]

气体处理装置及其处理气体的方法 [P].

崔启利 ;

孙晓辉 ;

陈宏宇 ;

陈先树 ;

王云博 ;

盖竹兴 .

中国专利 :CN113926284A ,2022-01-14

[8]

用来处理气体的设备 [P].

A·J·西利 ;

A·J·沃克菲尔德 .

中国专利 :CN101678295A ,2010-03-24

[9]

处理气体的系统和方法 [P].

D·S·索内 ;

J·N·阿斯克拉夫特 ;

J·S·哈默特 ;

M·E·索德尔霍尔姆 ;

M·莱德斯 ;

A·O·桑塔娜 ;

M·E·欧莱利 .

中国专利 :CN112867702A ,2021-05-28

[10]

处理气体的系统和方法 [P].

D·S·索内 ;

J·N·阿斯克拉夫特 ;

J·S·哈默特 ;

M·E·索德尔霍尔姆 ;

M·莱德斯 ;

A·O·桑塔娜 ;

M·E·欧莱利 .

美国专利 :CN112867702B ,2024-07-26

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