处理气体产生装置、处理气体产生方法、基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510092233.3

申请日：

2015-03-02

公开(公告)号：

CN104882363A

公开(公告)日：

2015-09-02

发明(设计)人：

糸永将司渡边圣之

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G03F700 H01L2167

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-02	公开	公开
2018-11-30	授权	授权
2016-10-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101683119908 IPC(主分类):H01L 21/027 专利申请号:2015100922333 申请日:20150302

共 50 条

[1]

气体处理装置及其处理气体的方法 [P].

崔启利 ;

孙晓辉 ;

陈宏宇 ;

陈先树 ;

王云博 ;

盖竹兴 .

中国专利 :CN113926284A ,2022-01-14

[2]

处理气体的方法 [P].

威廉·费舍尔 .

中国专利 :CN105378384A ,2016-03-02

[3]

处理气体的方法 [P].

J·R·史密斯 ;

M·雷多郁 ;

S·J·科斯 .

中国专利 :CN101297063A ,2008-10-29

[4]

基板处理装置以及处理气体喷出机构 [P].

饭塚八城 ;

迫田智幸 ;

小田尚史 ;

辻德彦 ;

诸井政幸 .

中国专利 :CN101322226A ,2008-12-10

[5]

处理气体物流的方法 [P].

纪和春 .

中国专利 :CN109966820A ,2019-07-05

[6]

处理气体物流的方法 [P].

P·钱德勒 ;

C·P·琼斯 ;

P·弗莱彻尔 ;

C·杰曼 .

中国专利 :CN101610831A ,2009-12-23

[7]

处理气体物流的方法 [P].

J·R·史密斯 ;

G·P·奈特 .

中国专利 :CN101610829A ,2009-12-23

[8]

处理气体流的方法 [P].

马克·C·安德森 ;

迈克尔·F·雷 ;

罗纳德·谢弗 .

中国专利 :CN101479022A ,2009-07-08

[9]

处理气体的方法和装置 [P].

皮特·森提万尼 .

中国专利 :CN102686967B ,2012-09-19

[10]

处理气体供给机构、供给方法及气体处理装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN101159228B ,2008-04-09

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