一种双激光干涉纳米级定位测量系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110721179.X

申请日：

2021-06-28

公开(公告)号：

CN113418453A

公开(公告)日：

2021-09-21

发明(设计)人：

张树施玉书王芳皮磊卜祥鹏

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北三环东路18号

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

代理机构：

北京高沃律师事务所 11569

代理人：

杜阳阳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-21	公开	公开
2021-10-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20210628

共 50 条

[1]

纳米级微位移光杠杆激光测量系统 [P].

刘晓旻 ;

李苏贵 .

中国专利 :CN201903326U ,2011-07-20

[2]

一种激光干涉位移测量系统 [P].

刘晓军 ;

李千 ;

赵昊 .

中国专利 :CN105004273A ,2015-10-28

[3]

一种光学多倍程纳米级位移测量系统 [P].

施玉书 ;

张树 ;

王芳 ;

皮磊 ;

卜祥鹏 .

中国专利 :CN113405469A ,2021-09-17

[4]

纳米级位置定位系统 [P].

胡旭晓 .

中国专利 :CN1348847A ,2002-05-15

[5]

一种非接触式辅助定位激光干涉测量系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN115096209A ,2022-09-23

[6]

一种非接触式辅助定位激光干涉测量系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN115096209B ,2024-12-17

[7]

一种激光自混合干涉测量系统 [P].

杨明伟 .

中国专利 :CN105486224A ,2016-04-13

[8]

激光干涉测量系统 [P].

张少林 ;

张万祯 ;

周秋玲 ;

刘团结 .

中国专利 :CN111351511A ,2020-06-30

[9]

一种双源激光干涉测速系统 [P].

陶天炯 ;

王翔 ;

翁继东 ;

李加波 ;

傅秋卫 ;

王为 ;

叶素华 ;

汪小松 ;

贾路峰 ;

陈宏 .

中国专利 :CN102419442B ,2012-04-18

[10]

一种接触式辅助定位激光干涉测量系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN115077418A ,2022-09-20

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