等离子体处理装置和其使用的处理气体供给装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910143025.6

申请日：

2009-05-22

公开(公告)号：

CN101587814A

公开(公告)日：

2009-11-25

发明(设计)人：

田中诚治

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

F17D104 F17D301

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-11-25	公开	公开
2010-01-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-05-09	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体处理装置及其处理气体供给结构 [P].

饭塚八城 .

中国专利 :CN102573263B ,2012-07-11

[2]

等离子体处理装置及其处理气体供给机构 [P].

饭塚八城 .

中国专利 :CN102263025B ,2011-11-30

[3]

处理气体导入机构和等离子体处理装置 [P].

釜石贵之 ;

岛村明典 ;

森嶋雅人 .

中国专利 :CN101106070B ,2008-01-16

[4]

处理气体导入机构和等离子体处理装置 [P].

釜石贵之 ;

岛村明典 ;

森嶋雅人 .

中国专利 :CN100350569C ,2005-11-23

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松本直树 ;

小山纮司 ;

小津俊久 ;

吉村正太 .

中国专利 :CN104350585A ,2015-02-11

[6]

气体供给部件和等离子体处理装置 [P].

守屋刚 ;

村上贵宏 .

中国专利 :CN1828825A ,2006-09-06

[7]

气体供给系统、等离子体处理装置和等离子体处理装置的应用方法 [P].

泽地淳 ;

佐佐木则和 ;

山岛淳 ;

佐藤好保 ;

野上健一 .

中国专利 :CN106575615B ,2017-04-19

[8]

等离子体生成装置、等离子体处理装置以及处理方法 [P].

堀胜 ;

丰田浩孝 ;

关根诚 ;

伊藤仁 ;

三好秀典 .

中国专利 :CN102421237A ,2012-04-18

[9]

等离子体处理装置及其气体供给方法 [P].

加藤义之 ;

网仓纪彦 ;

实吉梨沙子 ;

深泽公博 .

中国专利 :CN102810445B ,2012-12-05

[10]

等离子体处理装置和高频电力供给装置 [P].

速水利泰 ;

岩崎征英 ;

高平淳一 ;

渡部一良 ;

小松真一 ;

佐佐木雄一 .

中国专利 :CN101064987A ,2007-10-31

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