处理气体导入机构和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710105523.2

申请日：

2004-04-28

公开(公告)号：

CN101106070B

公开(公告)日：

2008-01-16

发明(设计)人：

釜石贵之岛村明典森嶋雅人

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21311 H01L213065 H01L213213

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-01-11	授权	授权
2008-01-16	公开	公开
2008-03-05	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

处理气体导入机构和等离子体处理装置 [P].

釜石贵之 ;

岛村明典 ;

森嶋雅人 .

中国专利 :CN100350569C ,2005-11-23

[2]

等离子体处理装置和气体导入机构 [P].

藤野丰 ;

小松智仁 ;

池田太郎 ;

中入淳 ;

和久津岳生 .

中国专利 :CN107393798A ,2017-11-24

[3]

等离子体处理装置及其处理气体供给机构 [P].

饭塚八城 .

中国专利 :CN102263025B ,2011-11-30

[4]

等离子体处理装置及其处理气体供给结构 [P].

饭塚八城 .

中国专利 :CN102573263B ,2012-07-11

[5]

等离子体处理装置和其使用的处理气体供给装置 [P].

田中诚治 .

中国专利 :CN101587814A ,2009-11-25

[6]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

李诚泰 ;

土桥和也 .

中国专利 :CN102347231B ,2012-02-08

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 ;

冈信介 .

中国专利 :CN100536634C ,2006-11-15

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

金子和史 .

中国专利 :CN114302547A ,2022-04-08

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