一种PCVD沉积装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810209949.0

申请日：

2018-03-14

公开(公告)号：

CN108298810A

公开(公告)日：

2018-07-20

发明(设计)人：

胡肖张欣朱继红汪洪海

申请人：

申请人地址：

430073 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道9号

IPC主分类号：

C03B37018

IPC分类号：

代理机构：

湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102

代理人：

胡建平

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-20	公开	公开
2021-04-09	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C03B 37/018 申请公布日:20180720
2018-08-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C03B 37/018 申请日:20180314

共 50 条

[1]

一种PCVD工艺均匀沉积系统及方法 [P].

谢鹏 ;

傅琰 ;

吴建鹏 ;

汪振东 ;

张安林 ;

肖武丰 ;

张振众 ;

徐进 .

中国专利 :CN119082712A ,2024-12-06

[2]

一种用于PCVD沉积车床的保温炉 [P].

戴鹏 ;

王珂 ;

叶德建 ;

刘丽萍 ;

夏先辉 ;

余保国 ;

何勤国 .

中国专利 :CN115594395B ,2024-04-09

[3]

一种用于PCVD沉积车床的保温炉 [P].

戴鹏 ;

王珂 ;

叶德建 ;

刘丽萍 ;

夏先辉 ;

余保国 ;

何勤国 .

中国专利 :CN115594395A ,2023-01-13

[4]

一种PCVD工艺均匀沉积装置 [P].

吴建鹏 ;

傅琰 ;

谢鹏 ;

汪振东 ;

肖武丰 ;

张安林 ;

肖虎 ;

王海鹰 ;

徐进 ;

王瑞春 .

中国专利 :CN222349127U ,2025-01-14

[5]

一种同步驱动PCVD沉积炉装置 [P].

俞佳宾 ;

李凡 ;

眭立洪 .

中国专利 :CN110963695A ,2020-04-07

[6]

一种同步驱动PCVD沉积炉装置 [P].

俞佳宾 ;

李凡 ;

眭立洪 .

中国专利 :CN211570470U ,2020-09-25

[7]

一种同步驱动PCVD沉积炉装置 [P].

俞佳宾 ;

李凡 ;

眭立洪 .

中国专利 :CN110963697A ,2020-04-07

[8]

一种PCVD工艺均匀沉积装置及方法 [P].

吴建鹏 ;

傅琰 ;

谢鹏 ;

汪振东 ;

肖武丰 ;

张安林 ;

肖虎 ;

王海鹰 ;

徐进 ;

王瑞春 .

中国专利 :CN117660943A ,2024-03-08

[9]

一种提高PCVD工艺沉积均匀性的方法 [P].

张欣 ;

胡肖 ;

朱继红 ;

汪洪海 .

中国专利 :CN108046583A ,2018-05-18

[10]

一种PCVD沉积机床保温炉开合装置 [P].

万浩 .

中国专利 :CN116067180B ,2025-12-09

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