一种PCVD工艺均匀沉积装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323404055.2

申请日：

2023-12-13

公开(公告)号：

CN222349127U

公开(公告)日：

2025-01-14

发明(设计)人：

吴建鹏傅琰谢鹏汪振东肖武丰张安林肖虎王海鹰徐进王瑞春

申请人：

长飞光纤光缆股份有限公司湖北光谷实验室

申请人地址：

430073 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道9号

IPC主分类号：

C23C16/511

IPC分类号：

C23C16/52 C23C16/44 C23C16/40

代理机构：

湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102

代理人：

胡建平

法律状态：

授权

国省代码：

湖北省武汉市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种PCVD工艺均匀沉积装置及方法 [P].

吴建鹏 ;

傅琰 ;

谢鹏 ;

汪振东 ;

肖武丰 ;

张安林 ;

肖虎 ;

王海鹰 ;

徐进 ;

王瑞春 .

中国专利 :CN117660943A ,2024-03-08

[2]

一种PCVD工艺均匀沉积系统及方法 [P].

谢鹏 ;

傅琰 ;

吴建鹏 ;

汪振东 ;

张安林 ;

肖武丰 ;

张振众 ;

徐进 .

中国专利 :CN119082712A ,2024-12-06

[3]

一种提高PCVD工艺沉积均匀性的方法 [P].

张欣 ;

胡肖 ;

朱继红 ;

汪洪海 .

中国专利 :CN108046583A ,2018-05-18

[4]

一种高沉积速率PCVD工艺制作单模光纤芯棒的方法 [P].

吴建鹏 ;

夏先辉 ;

吴伟 .

中国专利 :CN106277744A ,2017-01-04

[5]

一种PCVD沉积装置 [P].

胡肖 ;

张欣 ;

朱继红 ;

汪洪海 .

中国专利 :CN108298810A ,2018-07-20

[6]

一种基于PCVD工艺的沉积均匀的光纤预制棒生产设备 [P].

俞桂英 .

中国专利 :CN107540210A ,2018-01-05

[7]

一种同步驱动PCVD沉积炉装置 [P].

俞佳宾 ;

李凡 ;

眭立洪 .

中国专利 :CN211570470U ,2020-09-25

[8]

一种高沉积速率PCVD工艺制作光纤芯棒的方法 [P].

童维军 ;

何珍宝 ;

罗杰 .

中国专利 :CN1403397A ,2003-03-19

[9]

一种PCVD沉积过程中防堵稳压的方法 [P].

张欣 ;

朱继红 ;

汪洪海 ;

周新艳 ;

胡俊中 .

中国专利 :CN107879618A ,2018-04-06

[10]

一种PCVD工艺制备光纤预制棒的方法 [P].

周志攀 ;

李德武 ;

雷高清 ;

张鹏 .

中国专利 :CN109608031B ,2019-04-12

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