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一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820703672.2
申请日：
2018-05-12
公开(公告)号：
CN208353690U
公开(公告)日：
2019-01-08
发明(设计)人：
詹铁锤
程光周
倪红德
薛进
申请人：
申请人地址：
230000 安徽省合肥市经济技术开发区合安路以东，明珠广场以北欧风街D01区
IPC主分类号：
H05H146
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-01 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20180512 授权公告日:20190108 终止日期:20190512 |
| 2019-01-08 | 授权 | 授权 |