一种单晶硅炉退火装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201920434006.8
申请日
2019-04-02
公开(公告)号
CN210030958U
公开(公告)日
2020-02-07
发明(设计)人
郑芹峰 方伟建
申请人
申请人地址
324300 浙江省衢州市开化县工业园区茶场片区茶四路6号
IPC主分类号
C30B3302
IPC分类号
C30B2906
代理机构
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427
代理人
陈娟
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种单晶硅炉退火装置 [P]. 
梅坤 ;
肖贵云 ;
陈伟 ;
黄晶晶 ;
李亮 ;
金浩 ;
闫灯周 .
中国专利 :CN107385514A ,2017-11-24
[2]
一种单晶硅炉退火装置 [P]. 
梅坤 ;
肖贵云 ;
陈伟 ;
黄晶晶 ;
李亮 ;
金浩 ;
闫灯周 .
中国专利 :CN207062430U ,2018-03-02
[3]
一种单晶硅炉 [P]. 
王军 ;
郭大伟 ;
王楠 .
中国专利 :CN202519360U ,2012-11-07
[4]
一种单晶硅炉 [P]. 
罗乾 ;
陈健 ;
陈立民 ;
韩永龙 ;
文淑梅 .
中国专利 :CN208121236U ,2018-11-20
[5]
节能单晶硅炉 [P]. 
肖世洪 .
中国专利 :CN221971730U ,2024-11-08
[6]
一种单晶硅炉加热装置 [P]. 
吴雄 ;
洪广辉 ;
洪远文 .
中国专利 :CN222499458U ,2025-02-18
[7]
一种单晶硅炉 [P]. 
张志新 ;
王军 ;
安桂正 .
中国专利 :CN201195769Y ,2009-02-18
[8]
一种单晶硅炉 [P]. 
邱香 .
中国专利 :CN113913919B ,2022-01-11
[9]
一种单晶硅炉 [P]. 
张忠安 .
中国专利 :CN204311155U ,2015-05-06
[10]
软轴单晶硅炉 [P]. 
张志新 ;
王军 ;
安桂正 .
中国专利 :CN2913394Y ,2007-06-20