一种单晶硅炉退火装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201720925100.4
申请日
2017-07-27
公开(公告)号
CN207062430U
公开(公告)日
2018-03-02
发明(设计)人
梅坤 肖贵云 陈伟 黄晶晶 李亮 金浩 闫灯周
申请人
申请人地址
334100 江西省上饶市经济开发区晶科大道1号
IPC主分类号
C30B3302
IPC分类号
C30B2906
代理机构
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人
何世磊
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种单晶硅炉退火装置 [P]. 
梅坤 ;
肖贵云 ;
陈伟 ;
黄晶晶 ;
李亮 ;
金浩 ;
闫灯周 .
中国专利 :CN107385514A ,2017-11-24
[2]
一种单晶硅炉退火装置 [P]. 
郑芹峰 ;
方伟建 .
中国专利 :CN210030958U ,2020-02-07
[3]
单晶炉及单晶硅棒退火方法 [P]. 
陈占仓 ;
王鹏飞 ;
孙伟刚 ;
赵玉智 ;
祁玉梦 .
中国专利 :CN120350429A ,2025-07-22
[4]
一种单晶硅炉 [P]. 
王军 ;
郭大伟 ;
王楠 .
中国专利 :CN202519360U ,2012-11-07
[5]
一种单晶硅炉 [P]. 
邱香 .
中国专利 :CN113913919B ,2022-01-11
[6]
一种单晶硅炉 [P]. 
罗乾 ;
陈健 ;
陈立民 ;
韩永龙 ;
文淑梅 .
中国专利 :CN208121236U ,2018-11-20
[7]
单晶硅炉控制装置 [P]. 
张志新 ;
王军 ;
安桂正 .
中国专利 :CN2913393Y ,2007-06-20
[8]
单晶炉及单晶硅制备方法 [P]. 
蔡媛媛 ;
程立 ;
徐森炀 .
中国专利 :CN119465399A ,2025-02-18
[9]
节能单晶硅炉 [P]. 
肖世洪 .
中国专利 :CN221971730U ,2024-11-08
[10]
一种单晶硅炉加热装置 [P]. 
吴雄 ;
洪广辉 ;
洪远文 .
中国专利 :CN222499458U ,2025-02-18