基板处理装置和基板搬送方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710828334.1

申请日：

2017-09-14

公开(公告)号：

CN107845588B

公开(公告)日：

2018-03-27

发明(设计)人：

长久保启一佐佐木義明

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170914
2018-03-27	公开	公开
2021-09-03	授权	授权

共 50 条

[1]

基板处理装置和基板搬送方法 [P].

天野健次 ;

冈部星儿 .

中国专利 :CN101202211B ,2008-06-18

[2]

基板搬送装置、基板处理系统和基板搬送方法 [P].

阪上博充 ;

小泽雅仁 ;

古屋雄一 ;

信田菜奈子 ;

广瀬胜人 ;

稻垣守人 .

中国专利 :CN102881618A ,2013-01-16

[3]

基板搬送装置和基板搬送方法 [P].

樱林务 ;

辻德彦 .

中国专利 :CN108695206B ,2018-10-23

[4]

基板搬送装置和基板搬送方法 [P].

林德太郎 ;

道木裕一 ;

前岛浩光 .

中国专利 :CN103247559B ,2013-08-14

[5]

盒装置、基板搬送装置、基板处理装置和基板处理方法 [P].

浜田智秀 ;

铃木智也 .

中国专利 :CN104203785A ,2014-12-10

[6]

基板搬送装置及基板处理装置 [P].

高山祐一 .

日本专利 :CN119673838A ,2025-03-21

[7]

基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统 [P].

波多野达夫 ;

渡边直树 .

中国专利 :CN114765121A ,2022-07-19

[8]

基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统 [P].

波多野达夫 ;

渡边直树 .

日本专利 :CN114765121B ,2025-05-02

[9]

基板处理装置和基板搬送装置的位置对准方法 [P].

饭田成昭 ;

伊藤和彦 ;

木下道生 .

中国专利 :CN1312729C ,2005-02-02

[10]

基板浮起搬送装置和基板处理装置 [P].

稻益寿史 ;

宫崎文宏 .

中国专利 :CN102674004B ,2012-09-19

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