基板搬送装置和基板搬送方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310043637.4

申请日：

2013-02-04

公开(公告)号：

CN103247559B

公开(公告)日：

2013-08-14

发明(设计)人：

林德太郎道木裕一前岛浩光

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-08-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101586608812 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2013100436374 申请日:20130204
2017-04-12	授权	授权
2013-08-14	公开	公开

共 50 条

[1]

基板搬送装置、基板搬送方法和存储介质 [P].

林德太郎 ;

道木裕一 ;

前岛浩光 .

中国专利 :CN107104073A ,2017-08-29

[2]

基板搬送装置 [P].

吉田哲也 ;

福岛崇行 ;

木下真也 ;

松冈翔吾 .

中国专利 :CN110383453A ,2019-10-25

[3]

基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统 [P].

波多野达夫 ;

渡边直树 .

中国专利 :CN114765121A ,2022-07-19

[4]

基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统 [P].

波多野达夫 ;

渡边直树 .

日本专利 :CN114765121B ,2025-05-02

[5]

基板搬送装置 [P].

前田彻 ;

荒井久 .

日本专利 :CN119133044A ,2024-12-13

[6]

基板处理装置和基板搬送方法 [P].

长久保启一 ;

佐佐木義明 .

中国专利 :CN107845588B ,2018-03-27

[7]

基板搬送系统 [P].

多久岛崇义 ;

丸山贤人 .

日本专利 :CN120527280A ,2025-08-22

[8]

基板搬送装置及基板处理装置 [P].

高山祐一 .

日本专利 :CN119673838A ,2025-03-21

[9]

基板搬送装置及搬送带的维护检修方法 [P].

马渡道明 .

中国专利 :CN103991693B ,2014-08-20

[10]

基板处理装置和基板搬送装置的位置对准方法 [P].

饭田成昭 ;

伊藤和彦 ;

木下道生 .

中国专利 :CN1312729C ,2005-02-02

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