基板搬送装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880018228.X

申请日：

2018-03-14

公开(公告)号：

CN110383453A

公开(公告)日：

2019-10-25

发明(设计)人：

吉田哲也福岛崇行木下真也松冈翔吾

申请人：

申请人地址：

日本兵库县神户市

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

B25J1500 B65G4907

代理机构：

上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261

代理人：

曹芳玲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-25	公开	公开
2019-11-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20180314

共 50 条

[1]

基板搬送装置和基板搬送方法 [P].

林德太郎 ;

道木裕一 ;

前岛浩光 .

中国专利 :CN103247559B ,2013-08-14

[2]

基板搬送装置 [P].

前田彻 ;

荒井久 .

日本专利 :CN119133044A ,2024-12-13

[3]

基板搬送装置、基板搬送方法和存储介质 [P].

林德太郎 ;

道木裕一 ;

前岛浩光 .

中国专利 :CN107104073A ,2017-08-29

[4]

基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统 [P].

波多野达夫 ;

渡边直树 .

中国专利 :CN114765121A ,2022-07-19

[5]

基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统 [P].

波多野达夫 ;

渡边直树 .

日本专利 :CN114765121B ,2025-05-02

[6]

基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置 [P].

西尾勤 .

中国专利 :CN102730416A ,2012-10-17

[7]

基板搬送装置及基板处理装置 [P].

高山祐一 .

日本专利 :CN119673838A ,2025-03-21

[8]

基板搬送系统 [P].

多久岛崇义 ;

丸山贤人 .

日本专利 :CN120527280A ,2025-08-22

[9]

基板处理装置和基板搬送方法 [P].

长久保启一 ;

佐佐木義明 .

中国专利 :CN107845588B ,2018-03-27

[10]

基板搬送装置及搬送带的维护检修方法 [P].

马渡道明 .

中国专利 :CN103991693B ,2014-08-20

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