共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
基板搬送系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510001734.X
申请日：
2025-01-02
公开(公告)号：
CN120527280A
公开(公告)日：
2025-08-22
发明(设计)人：
多久岛崇义
丸山贤人
申请人：
胜高股份有限公司
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
刘茜璐;吕传奇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20250102 |
| 2025-08-22 | 公开 | 公开 |