喷淋头装置及MOCVD设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920781858.4

申请日：

2019-05-28

公开(公告)号：

CN210001931U

公开(公告)日：

2020-01-31

发明(设计)人：

贾蕾童翔

申请人：

申请人地址：

102200 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-23	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20210207 变更事项:专利权人变更前权利人:东泰高科装备科技有限公司变更后权利人:紫石能源有限公司变更事项:地址变更前权利人:102200 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室变更后权利人:102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611
2020-01-31	授权	授权

共 50 条

[1]

MOCVD设备的喷淋头及MOCVD设备 [P].

谭华强 ;

黄允文 ;

乔徽 ;

林翔 ;

苏育家 .

中国专利 :CN103409730A ,2013-11-27

[2]

一种MOCVD组合喷淋头及MOCVD设备 [P].

刘可为 ;

陈星 ;

申德振 ;

杨佳霖 .

中国专利 :CN111778552A ,2020-10-16

[3]

用于MOCVD设备的喷淋头 [P].

谭华强 ;

乔徽 ;

林翔 ;

苏育家 .

中国专利 :CN103397308A ,2013-11-20

[4]

一种MOCVD设备新型喷淋头装置 [P].

彭继忠 .

中国专利 :CN201785486U ,2011-04-06

[5]

一种用于MOCVD设备的喷淋头 [P].

张之 ;

方海生 ;

蒋志敏 ;

郑江 ;

刘胜 ;

甘志银 .

中国专利 :CN204401102U ,2015-06-17

[6]

一种MOCVD设备新型喷淋头装置 [P].

彭继忠 .

中国专利 :CN101921996A ,2010-12-22

[7]

一种MOCVD设备的喷淋头 [P].

王钢 ;

李健 ;

范冰丰 ;

蔡健栋 ;

吴飞飞 .

中国专利 :CN104630747A ,2015-05-20

[8]

一种用于MOCVD设备的喷淋头 [P].

曹盛 ;

徐龙权 ;

张建立 ;

全知觉 ;

赵鹏 ;

罗磊 ;

江风益 .

中国专利 :CN106498368A ,2017-03-15

[9]

MOCVD设备反应器的喷淋头及其连接结构 [P].

丁云鑫 ;

徐小明 ;

周永君 ;

邬建伟 .

中国专利 :CN202671653U ,2013-01-16

[10]

一种MOCVD喷淋头用清洁设备 [P].

田青林 ;

黎静 ;

陈淼 .

中国专利 :CN215713362U ,2022-02-01

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