一种用于MOCVD设备的喷淋头

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420856066.6

申请日：

2014-12-29

公开(公告)号：

CN204401102U

公开(公告)日：

2015-06-17

发明(设计)人：

张之方海生蒋志敏郑江刘胜甘志银

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

华中科技大学专利中心 42201

代理人：

曹葆青

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-17	授权	授权
2017-04-26	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101750407134 IPC(主分类):C23C 16/455 专利号:ZL2014208560666 申请日:20141229 授权公告日:20150617 放弃生效日:20170426

共 50 条

[1]

一种用于MOCVD设备的喷淋头 [P].

张之 ;

方海生 ;

蒋志敏 ;

郑江 ;

刘胜 ;

甘志银 .

中国专利 :CN104498904B ,2015-04-08

[2]

用于MOCVD设备的喷淋头 [P].

谭华强 ;

乔徽 ;

林翔 ;

苏育家 .

中国专利 :CN103397308A ,2013-11-20

[3]

一种用于MOCVD设备的喷淋头 [P].

曹盛 ;

徐龙权 ;

张建立 ;

全知觉 ;

赵鹏 ;

罗磊 ;

江风益 .

中国专利 :CN106498368A ,2017-03-15

[4]

MOCVD设备的喷淋头及MOCVD设备 [P].

谭华强 ;

黄允文 ;

乔徽 ;

林翔 ;

苏育家 .

中国专利 :CN103409730A ,2013-11-27

[5]

一种MOCVD设备的喷淋头 [P].

王钢 ;

李健 ;

范冰丰 ;

蔡健栋 ;

吴飞飞 .

中国专利 :CN104630747A ,2015-05-20

[6]

喷淋头装置及MOCVD设备 [P].

贾蕾 ;

童翔 .

中国专利 :CN210001931U ,2020-01-31

[7]

一种MOCVD设备新型喷淋头装置 [P].

彭继忠 .

中国专利 :CN201785486U ,2011-04-06

[8]

一种MOCVD组合喷淋头及MOCVD设备 [P].

刘可为 ;

陈星 ;

申德振 ;

杨佳霖 .

中国专利 :CN111778552A ,2020-10-16

[9]

一种MOCVD使用的喷淋头 [P].

王国宏 ;

张韧剑 ;

李志聪 ;

赵新印 ;

肖志 .

中国专利 :CN208485950U ,2019-02-12

[10]

一种MOCVD设备新型喷淋头装置 [P].

彭继忠 .

中国专利 :CN101921996A ,2010-12-22

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