一种MOCVD使用的喷淋头

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821139286.1

申请日：

2018-07-18

公开(公告)号：

CN208485950U

公开(公告)日：

2019-02-12

发明(设计)人：

王国宏张韧剑李志聪赵新印肖志

申请人：

申请人地址：

225009 江苏省扬州市开发区临江路186号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

扬州市锦江专利事务所 32106

代理人：

江平

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于MOCVD设备的喷淋头 [P].

张之 ;

方海生 ;

蒋志敏 ;

郑江 ;

刘胜 ;

甘志银 .

中国专利 :CN204401102U ,2015-06-17

[2]

一种MOCVD设备的喷淋头 [P].

王钢 ;

李健 ;

范冰丰 ;

蔡健栋 ;

吴飞飞 .

中国专利 :CN104630747A ,2015-05-20

[3]

一种清理MOCVD上喷淋头的工具 [P].

孙飞 .

中国专利 :CN213327825U ,2021-06-01

[4]

喷淋头装置及MOCVD设备 [P].

贾蕾 ;

童翔 .

中国专利 :CN210001931U ,2020-01-31

[5]

MOCVD设备的喷淋头及MOCVD设备 [P].

谭华强 ;

黄允文 ;

乔徽 ;

林翔 ;

苏育家 .

中国专利 :CN103409730A ,2013-11-27

[6]

一种MOCVD喷淋头用清洁设备 [P].

田青林 ;

黎静 ;

陈淼 .

中国专利 :CN215713362U ,2022-02-01

[7]

一种MOCVD设备新型喷淋头装置 [P].

彭继忠 .

中国专利 :CN201785486U ,2011-04-06

[8]

一种MOCVD组合喷淋头及MOCVD设备 [P].

刘可为 ;

陈星 ;

申德振 ;

杨佳霖 .

中国专利 :CN111778552A ,2020-10-16

[9]

用于MOCVD设备的喷淋头 [P].

谭华强 ;

乔徽 ;

林翔 ;

苏育家 .

中国专利 :CN103397308A ,2013-11-20

[10]

一种用于MOCVD设备的喷淋头 [P].

曹盛 ;

徐龙权 ;

张建立 ;

全知觉 ;

赵鹏 ;

罗磊 ;

江风益 .

中国专利 :CN106498368A ,2017-03-15

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