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固化性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080044718.4
申请日：
2020-06-19
公开(公告)号：
CN113994258A
公开(公告)日：
2022-01-28
发明(设计)人：
野崎敦靖
申请人：
申请人地址：
日本国东京都
IPC主分类号：
G03F7004
IPC分类号：
G03F7027
G03F7037
G03F740
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
朱丹
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20200619 |
| 2022-01-28 | 公开 | 公开 |