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固化性树脂组合物、固化性树脂组合物的制造方法、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080045920.9
申请日：
2020-07-01
公开(公告)号：
CN114008526A
公开(公告)日：
2022-02-01
发明(设计)人：
野崎敦靖
岩井悠
申请人：
申请人地址：
日本国东京都
IPC主分类号：
G03F7004
IPC分类号：
G03F7027
G03F720
G03F740
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
薛海蛟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-01 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20200701 |