一种硅片移载装置

被引：0

申请号：

CN202122204006.9

申请日：

2021-09-10

公开(公告)号：

CN216548435U

公开(公告)日：

2022-05-17

发明(设计)人：

许明现张杜超洪昀马胜涛吴天祥

申请人：

申请人地址：

213200 江苏省常州市金坛市直溪镇工业集中区水南路1号

IPC主分类号：

B65G4790

IPC分类号：

B65G4774

代理机构：

杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250

代理人：

郑梦建

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片移载装置 [P].

李新丰 ;

王彦齐 ;

孙永刚 .

中国专利 :CN217534646U ,2022-10-04

[2]

一种硅片移载装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222705477U ,2025-04-01

[3]

硅片移载装置及硅片加工设备 [P].

汪滢 ;

张政青 ;

马航 ;

董雪迪 .

中国专利 :CN220651982U ,2024-03-22

[4]

一种移载机构及移载装置 [P].

龙万平 ;

郭远忠 .

中国专利 :CN216335172U ,2022-04-19

[5]

一种硅片移载抓取装置 [P].

段陆建 ;

祁建国 ;

顾维国 ;

薄宏林 ;

傅晋清 .

中国专利 :CN222281967U ,2024-12-31

[6]

一种高速同步移载装置 [P].

敖俊 ;

黎勇 ;

董争武 ;

阳斌 .

中国专利 :CN211997755U ,2020-11-24

[7]

一种移载装置 [P].

李根 .

中国专利 :CN209567539U ,2019-11-01

[8]

一种移载装置 [P].

何俊 ;

肖益民 ;

陈立 .

中国专利 :CN207404453U ,2018-05-25

[9]

一种移载装置 [P].

傅海龙 ;

高健 .

中国专利 :CN218434719U ,2023-02-03

[10]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

谷士斌 ;

蔡涔 ;

张杜超 ;

洪昀 ;

胡林 ;

马胜涛 .

中国专利 :CN216037223U ,2022-03-15

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