硅片移载装置及硅片加工设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322339617.3

申请日：

2023-08-30

公开(公告)号：

CN220651982U

公开(公告)日：

2024-03-22

发明(设计)人：

汪滢张政青马航董雪迪

申请人：

拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司

申请人地址：

214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇东青河路3号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/683

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孙晶晶

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-22	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片悬浮载台及硅片移载机构 [P].

许明现 ;

洪昀 ;

张杜超 ;

禹牛云 ;

朱玉龙 .

中国专利 :CN216054631U ,2022-03-15

[2]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

谷士斌 ;

蔡涔 ;

张杜超 ;

洪昀 ;

胡林 ;

马胜涛 .

中国专利 :CN216037223U ,2022-03-15

[3]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

胡林 ;

马胜涛 ;

张杜超 ;

洪昀 .

中国专利 :CN216104704U ,2022-03-22

[4]

硅片载具及加工设备 [P].

陈洪鑫 ;

朱太荣 ;

刘群 .

中国专利 :CN221166738U ,2024-06-18

[5]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

成鹏荣 ;

吴杰 .

中国专利 :CN217971610U ,2022-12-06

[6]

载台及硅片加工设备 [P].

孔琪 ;

戴佳 ;

朱鹤囡 ;

孙峰 ;

刘群 .

中国专利 :CN223308981U ,2025-09-05

[7]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

胡林 ;

马胜涛 ;

张杜超 ;

洪昀 .

中国专利 :CN113460676A ,2021-10-01

[8]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

谷士斌 ;

蔡涔 ;

张杜超 ;

洪昀 ;

胡林 ;

马胜涛 .

中国专利 :CN113460675A ,2021-10-01

[9]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

成鹏荣 ;

吴杰 .

中国专利 :CN113460700A ,2021-10-01

[10]

硅片的洗边装置及硅片加工设备 [P].

闵金华 ;

沈满华 .

中国专利 :CN216902817U ,2022-07-05

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