硅片移载机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121464556.8

申请日：

2021-06-29

公开(公告)号：

CN216104704U

公开(公告)日：

2022-03-22

发明(设计)人：

许明现蔡涔谷士斌胡林马胜涛张杜超洪昀

申请人：

申请人地址：

213200 江苏省常州市金坛市直溪镇工业集中区水南路1号

IPC主分类号：

B65G4790

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250

代理人：

戴贤群

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-22	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

谷士斌 ;

蔡涔 ;

张杜超 ;

洪昀 ;

胡林 ;

马胜涛 .

中国专利 :CN216037223U ,2022-03-15

[2]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

胡林 ;

马胜涛 ;

张杜超 ;

洪昀 .

中国专利 :CN113460676A ,2021-10-01

[3]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

谷士斌 ;

蔡涔 ;

张杜超 ;

洪昀 ;

胡林 ;

马胜涛 .

中国专利 :CN113460675A ,2021-10-01

[4]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

成鹏荣 ;

吴杰 .

中国专利 :CN217971610U ,2022-12-06

[5]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

成鹏荣 ;

吴杰 .

中国专利 :CN113460700A ,2021-10-01

[6]

硅片悬浮载台及硅片移载机构 [P].

许明现 ;

洪昀 ;

张杜超 ;

禹牛云 ;

朱玉龙 .

中国专利 :CN216054631U ,2022-03-15

[7]

一种硅片吸取移载机构 [P].

蒋旭东 ;

蒋成斌 .

中国专利 :CN117690851A ,2024-03-12

[8]

一种硅片吸取移载机构 [P].

蒋旭东 ;

蒋成斌 .

中国专利 :CN117690851B ,2024-04-09

[9]

一种硅片吸取移载机构 [P].

陈国锋 ;

张青松 .

中国专利 :CN215896324U ,2022-02-22

[10]

钢板移载机构 [P].

王云 ;

陈闰发 ;

鲜其敏 .

中国专利 :CN212892674U ,2021-04-06

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