一种硅片吸取移载机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122145293.0

申请日：

2021-09-06

公开(公告)号：

CN215896324U

公开(公告)日：

2022-02-22

发明(设计)人：

陈国锋张青松

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

江苏智天知识产权代理有限公司 32550

代理人：

陈俊凤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片吸取移载机构 [P].

蒋旭东 ;

蒋成斌 .

中国专利 :CN117690851A ,2024-03-12

[2]

一种硅片吸取移载机构 [P].

蒋旭东 ;

蒋成斌 .

中国专利 :CN117690851B ,2024-04-09

[3]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

谷士斌 ;

蔡涔 ;

张杜超 ;

洪昀 ;

胡林 ;

马胜涛 .

中国专利 :CN216037223U ,2022-03-15

[4]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

胡林 ;

马胜涛 ;

张杜超 ;

洪昀 .

中国专利 :CN216104704U ,2022-03-22

[5]

硅片悬浮载台及硅片移载机构 [P].

许明现 ;

洪昀 ;

张杜超 ;

禹牛云 ;

朱玉龙 .

中国专利 :CN216054631U ,2022-03-15

[6]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

成鹏荣 ;

吴杰 .

中国专利 :CN217971610U ,2022-12-06

[7]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

胡林 ;

马胜涛 ;

张杜超 ;

洪昀 .

中国专利 :CN113460676A ,2021-10-01

[8]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

谷士斌 ;

蔡涔 ;

张杜超 ;

洪昀 ;

胡林 ;

马胜涛 .

中国专利 :CN113460675A ,2021-10-01

[9]

硅片移载机构 [P].

许明现 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

成鹏荣 ;

吴杰 .

中国专利 :CN113460700A ,2021-10-01

[10]

半导体组件吸取移载机构 [P].

李锡昌 ;

叶志祥 .

中国专利 :CN204137894U ,2015-02-04

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