清洗装置和清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN97119991.4

申请日：

1997-10-30

公开(公告)号：

CN1084525C

公开(公告)日：

1998-07-22

发明(设计)人：

祢津茂义原田康之柴一彦

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

邵伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2002-05-08	授权	授权
1998-07-22	公开	公开
2012-12-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101372517671 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL971199914 申请日:19971030 授权公告日:20020508 终止日期:20111030
1998-06-24	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2005-11-23	专利申请权、专利权的转移专利权的转移	专利申请权、专利权的转移专利权的转移变更事项:专利权人变更前权利人:普雷帝克股份有限公司变更后权利人:普雷帝克股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本东京都变更事项:共同专利权人变更前权利人:信越半导体株式会社变更后权利人:无登记生效日:20051014

共 50 条

[1]

清洗装置和清洗方法 [P].

牛景豪 ;

曹岩 .

中国专利 :CN113578858B ,2021-11-02

[2]

清洗方法和清洗装置 [P].

道工健 ;

吉田和男 ;

木场和则 ;

三宅一幸 .

中国专利 :CN1104938A ,1995-07-12

[3]

超声波清洗装置以及清洗方法 [P].

陈宏 ;

薛晓敏 .

中国专利 :CN105983553A ,2016-10-05

[4]

一种清洗装置以及清洗方法 [P].

郑先锋 ;

徐涛 ;

金相旭 ;

左长云 .

中国专利 :CN103551336A ,2014-02-05

[5]

基板清洗装置和基板清洗方法 [P].

岛井太 ;

河田茂 .

中国专利 :CN1575870A ,2005-02-09

[6]

基板清洗装置和基板清洗方法 [P].

石桥知淳 .

中国专利 :CN111771260A ,2020-10-13

[7]

清洗装置和清洗方法 [P].

上川裕二 ;

中嶋敏 ;

上野钦也 .

中国专利 :CN1149633C ,1998-06-17

[8]

清洗装置和清洗方法 [P].

藤森正成 ;

林正二 ;

梅泽功一 ;

京谷浩平 .

日本专利 :CN119265868A ,2025-01-07

[9]

自动清洗机及清洗方法 [P].

杨磊 ;

蔡德信 ;

屈阳 ;

黄鹤源 ;

郑泽斌 ;

桂培炎 .

中国专利 :CN112549549B ,2022-12-02

[10]

自动分析仪探针清洗装置、超声清洗槽及探针清洗方法 [P].

杜伟 ;

刘展宏 ;

孙艳元 .

中国专利 :CN119857682A ,2025-04-22

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