清洗装置和清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN97122730.6

申请日：

1997-09-27

公开(公告)号：

CN1149633C

公开(公告)日：

1998-06-17

发明(设计)人：

上川裕二中嶋敏上野钦也

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

B08B308

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

杨松龄

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-05-12	授权	授权
1998-06-17	公开	公开
2017-11-24	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:19970927 授权公告日:20040512 终止日期:20160927
1999-02-03	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效

共 50 条

[1]

清洗装置和清洗方法 [P].

祢津茂义 ;

原田康之 ;

柴一彦 .

中国专利 :CN1084525C ,1998-07-22

[2]

清洗装置和清洗方法 [P].

牛景豪 ;

曹岩 .

中国专利 :CN113578858B ,2021-11-02

[3]

清洗装置和清洗方法 [P].

藤森正成 ;

林正二 ;

梅泽功一 ;

京谷浩平 .

日本专利 :CN119265868A ,2025-01-07

[4]

清洗槽和清洗装置 [P].

左国军 ;

陈雷 ;

李雄朋 ;

邱瑞 ;

饶相松 ;

龚泽熙 .

中国专利 :CN215955237U ,2022-03-04

[5]

清洗方法和清洗装置 [P].

道工健 ;

吉田和男 ;

木场和则 ;

三宅一幸 .

中国专利 :CN1104938A ,1995-07-12

[6]

桶清洗装置和清洗方法 [P].

徐金伟 ;

侯嘉生 ;

李远忠 ;

赵阳茂 ;

钱荥焘 .

中国专利 :CN117443881A ,2024-01-26

[7]

工件清洗装置和清洗方法 [P].

王光存 ;

蹤雪梅 ;

何冰 .

中国专利 :CN111589782A ,2020-08-28

[8]

清洗装置、仪器和方法 [P].

森良弘 ;

榛原照男 ;

久保悦子 ;

内部真佐志 .

中国专利 :CN103223406A ,2013-07-31

[9]

清洗装置、清洗系统以及清洗方法 [P].

藤森正成 ;

林正二 ;

梅泽功一 ;

京谷浩平 .

日本专利 :CN117512944A ,2024-02-06

[10]

流水式清洗方法和流水式清洗装置 [P].

坂口龙二 ;

大岛德夫 ;

王志鹏 ;

田中良 .

中国专利 :CN102422350A ,2012-04-18

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