光刻胶组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN99106272.8

申请日：

1999-05-07

公开(公告)号：

CN1167982C

公开(公告)日：

1999-11-17

发明(设计)人：

市川幸司福井信人落合钢志郎

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

严舫

法律状态：

实质审查请求的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2001-05-16	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2004-09-22	授权	授权
1999-11-17	公开	公开
2015-06-24	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101615168481 IPC(主分类):G03F 7/00 专利号:ZL991062728 申请日:19990507 授权公告日:20040922 终止日期:20140507

共 50 条

[1]

光刻胶组合物 [P].

金相奏 ;

康升镇 ;

成始震 ;

末次益实 ;

山田爱理 .

中国专利 :CN100524019C ,2003-04-02

[2]

光刻胶组合物 [P].

嶋田雅彦 ;

市川幸司 .

中国专利 :CN101995770A ,2011-03-30

[3]

光刻胶组合物 [P].

落合钢志郎 ;

福井信人 .

中国专利 :CN1230704A ,1999-10-06

[4]

光刻胶组合物 [P].

市川幸司 ;

坂本宏 ;

杉原昌子 ;

平冈崇志 .

中国专利 :CN102023482A ,2011-04-20

[5]

光刻胶组合物 [P].

S·H·韦勒 ;

R·W·考茨 ;

R·K·巴尔 .

中国专利 :CN1384399A ,2002-12-11

[6]

光刻胶组合物 [P].

J·F·卡梅伦 ;

D·W·李 ;

P·特雷夫纳斯 ;

G·J·斯万森 ;

J.W.宋 .

中国专利 :CN1821869A ,2006-08-23

[7]

光刻胶组合物 [P].

山下裕子 ;

安藤信雄 .

中国专利 :CN102117013A ,2011-07-06

[8]

光刻胶组合物 [P].

釜渊明 ;

山下裕子 .

中国专利 :CN102023479A ,2011-04-20

[9]

光刻胶组合物 [P].

山口训史 ;

金淳信 ;

吉田勋 ;

市川幸司 .

中国专利 :CN102033426A ,2011-04-27

[10]

光刻胶组合物 [P].

J·F·卡米隆 ;

S·L·阿布拉加 .

中国专利 :CN1310089C ,2003-04-02

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